长沙气相沉积炉的核心部件有哪些?

免费提供长沙磷酸铁锂煅烧炉，长沙硅碳负极包覆设备，长沙回转炉的咸阳科源新材装备有限公司，为您发布相关信息和咨询，欢迎您的收藏。

长沙气相沉积炉的核心部件包括：

沉积炉主体：包含加热室、水冷电极、测温热电偶，是处理工件的核心部分。

混气罐：由电动蝶阀、浮子流量计和不锈钢手动截止阀组成，负责气体的混气配比和向沉积炉内定量输送工作气体。

滑阀泵：负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内。

真空电动蝶阀：在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内。

加热磁性调压器：完成炉温的控制。

真空反应室：气相沉积炉属于真空设备，需要在一定真空环境下进行工作。

抽气组件：用于维持炉内的真空环境。

控制面板：用于监控和控制系统的工作参数。

集科研、生产、技术服务为一体的咸阳科源新材装备有限公司,主要主营产品有:长沙磷酸铁锂煅烧炉,长沙硅碳负极包覆设备和长沙回转炉,目前在市场上已经拥有较大规模和发展。