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长沙KY-R-LQC400-6M型CVD炉

长沙KY-R-LQC400-6M型CVD炉

来源:http://changsha.sinokiln.com/product610332.html

时间:2020-8-18 16:10:30

长沙KY-R-LQC400-6M型CVD炉是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、研究所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想设备。设备采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55°C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能,减少热量的损失。同时采用轻质炉膛,热效率高,能耗低,炉内温度均匀性好,可延长设备的使用效率。

KY-R-LQC400-6M型CVD炉产品特点

炉内密封性及佳,可通入氮气、乙炔、甲烷、丙酮等混合气体。

组合进料方式,进料量精准控制。

配置电子流量计、蠕动泵;炉内温度、压力、流量自动控制。

轻质炉膛,热效率高,能耗低,炉内温度均匀性好。

PLC全自动控制整套工艺过程,通过触摸屏操作简洁直观。

运行平稳, 宜维护,设备大小可根据需求非标定制。

KY-R-LQC系列连续式CVD炉技术参数

KY-R-LQC系列间歇式CVD炉技术参数


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